氦质谱检漏仪的设计
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-29 22:53:52 * 浏览: 3
这些设备仅用作残留气体或过程气体分析仪和检漏仪。进气系统（包括泄漏检测），用于分析高压下的混合气体。基于四极质谱仪的气体分析系统可以用作多气体泄漏检测器。图7.2中所示的检漏仪的质谱仪单元也只能在10-4 hPa以下的压力下工作。在检漏仪中，压力是由检漏仪的泵系统产生并保持的。这不需要任何操作员干预。带有质谱仪的检漏仪的设计如图7.3所示。图7.3：连接到涡轮分子泵（高真空泵（7）的质量2、3和4（对应于测试气体H2、3He和4He）的通用检漏仪质谱仪（质谱仪单元（8））的流程图））入口法兰。前级泵通过排气门（6）将涡轮分子泵排空。当阀门（3）打开时，通过入口将测试样品（也称为DINld1330-8，测试对象）抽空。阀门（6）和（3）的连接方式应使涡轮分子泵所需的前级真空压力始终优于抽空测试样品。抽空样品后，可以通过阀门将其连接到涡轮分子上。（4）前级真空泵或泵的中间泵，取决于相关的压力范围。现在将测试气体从外部喷到样品上，并与周围的空气一起泄漏到样品中。残留气体中的测试气体通过涡轮分子泵以与泵送方向相反的方向流经阀门（3）和（6），流入质谱仪单元并在此处进行检测。空气和轻质测试气体具有不同的压缩率（相差10倍以上）。尽管涡轮分子泵的高压缩比使空气远离质谱仪，但是轻气体以相对较高的分压到达此处。因此，涡轮分子泵充当氦气和氢气的选择性过滤器。这就是为什么即使在压力lt下，质谱仪也可以在10hPa时检测样品中的氦气和氢气（对于某些设备来说更高）。高次幂的氦气分压为10且介于1和10-9之间Pam3s-1高真空泵（4）中的每个中间级泵都可以覆盖反向流的泄漏率，以及不同速度下的运行方式会成倍地影响压缩率。样品和检测必须是检漏仪z的主流*高灵敏度阶段该设备可实现10-2hPa（通过阀（4）的进气）的几倍功率范围内的压力。由于采用了上游涡轮分子泵，因此质谱仪始终在非常低的总压力下工作，因此可以很好地保护其免受污染和损坏。
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